日本SMC電磁閥選型@SMC真空閥XL系列

在半導(dǎo)體制造過程中，腐蝕裝置、噴鍍裝置，離子注入裝置和CVD裝置等許多部分，都要把芯片和液晶基板放在真空室內(nèi)處理，該真空
室供氣、排氣(真空)用閥，要求它們無泄漏、耐腐蝕且是潔凈規(guī)格。

真空的含義是指在給定的空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)，是一種物理現(xiàn)象。在“虛空”中，聲音因?yàn)闆]有介質(zhì)而無法傳遞，但電磁波的傳遞卻不受真空的影響。事實(shí)上，在真空技術(shù)里，真空系針對(duì)大氣而言，一特定空間內(nèi)部之部份物質(zhì)被排出，使其壓力小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，則我們通稱此空間為真空或真空狀態(tài)。真空常用帕斯卡（Pascal ）或托爾（Torr ）做為壓力的單位。在自然環(huán)境里，只有外太空堪稱zui接近真空的空間。

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:李  生 
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日本SMC電磁閥選型@SMC真空閥XL系列
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